產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：南京半導體耐腐蝕耐高溫密封件

  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品廠商：其它品牌
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簡單介紹：
全氟醚橡膠能夠在260~290℃的溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定工作，并且能夠間歇性地承受高達316℃的高溫。
詳情介紹：
全氟醚橡膠在半導體制造中能抵御蝕刻液、清洗液等強腐蝕性化學藥液的侵蝕，主要以O型圈、密封圈等形式應用于半導體制造設備的真空系統(tǒng)和工藝腔體，能夠在高溫和等離子體環(huán)境中保持低析出、高潔凈度，避免污染晶圓。
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